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MUEGGE  2M244-M23 MUEGGE  MB2568A-110EA维修就选择法兰克自动化，维修速度快，成功率高，收费合理，关键是法兰克公司，规模还大，售后服务靠得 住，十几年技术支持。
大功率电源维修为主的工业自动化设备维修公司，主要从事半导体制造设备、半导体封装设备、光伏太阳 能生产设备、电镀行业设备电子备件维修。公司拥有经验丰富的电源专业维修工程师，对各种大功率开关 电源维修、AE电源维修、电镀电源维修、ADL电源维修、射频电源维修，RF电源维修、高频电源维修、ups 电源维修等有深厚的维修功底和丰富的维修经验。我们本着“精益求精”的服务宗旨，努力提高维修技术 ，扩展测试手段，丰富维修经验，更新测试设备，积累一些常见的维修技巧，为用户排忧解难，从而更快 、更好的服务于用户。我们的维修更具有修复率高、价格合理周期短、无需电路图等优点。 服务范围：刻蚀、RIE、平行板、ICP、pecvd、射频溅射、CVD 和PVD等系统，工业系统中感应加热和
电介质加热设备的电源，烘干、塑化焊接、硅晶体生长和平板显示器领域应用电源，直流偏压和硬镀膜， 信息技术设备(ITE)及轻工业系统、**设备。MUEGGE  2M244-M23 MUEGGE  MB2568A-110EA维修

维修品牌：ASTEC（雅达）、日本COSEL （科索）、美国Comdel、AMAT(纳斯达克）、美国AE电源(MDX、MDX II、 pinnacle、Diamond、PE、PEII、RFG、RFX、RFXII、APEX、RFDS、ATLAS、HFG、 RFPP（RF、LF）VHF、HFV等)、 美国ENI电源（DCG、RPG、DPG、ACG、OEM等)、德国Singulus电源等。美国维易科
(Veeco)精密仪器 美国维易科(Veeco) RF射频电源维修，激光电源控制器维修，激光电源发生器修理，MUEGGE  2M244-M23 MUEGGE  MB2568A-110EA维修

维修型号：
DPG(RPDG) Series:DPG-10-05 DPG-10
ACG Series:ACG-3 ACG-3B ACG-5 ACG-6 ACG-6B ACG-10 ACG-1OB 2100L-15P 5100L 600L 601P
OEM Series:OEM-6 OEM-6A OEM-6B OEM-12 OEM-12A OEM-12A-XL OEM-12B OEM-12-B3 OEM-25A
OEM-25-XL OEM-28B OEM-50 OEM-1250 OEM-2000 TEL-7000-RF
Spectrum Series: B-1513 B-3013 B-10013 B-10002 B-5002 B-11002 B-5513Z B-10513
Supepower Series:QL-3513 QL-6513 QL-10513 QL-13013
GENESIS(GHW,GMW,GEW,VHF)Series:GHW-12 GHW-25 GHW-50 GHW-80 GHW-2527 GHW-3040
GHW-58A GHW-85A GMW-25A GMW-25Z GEW-2527 GEW-3040
NOVA Series:NOVA-25 NOVA-25A NOVA-50A

RACK Series: RACK-AM-300 OTHERS: DPGS-10 DPGD-10 LPG-6A LPG-12A PL1-HF PL2-HF PL3-HF
Quanta-10 HF-300 HF-650 HPG-2
oneBox Series: OB1-01 OB1-02 OB1-03 OB1-04 OB2 Series OB4 Series 000-1093-076(2MHZ,2.5KW)
000-1093-077(27.12MHZ,1.8KW) 000-1093-075(DUAL MATCH) 000-1134-076 000-1134-077 000-1134-
077R

专业射频电源研发和第三方维修供应商，是国内最早从事工业电源维修的企业。
服务范围：美国维易科(Veeco) RF射频电源维修，激光电源控制器维修，激光电源发生器修理，MUEGGE微波电源专业维修 MX-4000X-111KL修理

美国赛恩SEREV R2001射频电源二手销售 射频电源匹配，MUEGGE微波电源专业维修 MX-4000X-111KL修理

从事大功率射频RF电源研发&第三方维修供应商，为太阳能光伏、半导体、液晶面板、镀膜行业研发和维
修PVD、CVD、
PECVD、MOCVD、ION IMP，PLASMA的设备电源，包括直流、高压、脉冲、射频、微波、匹配器、RPSC、
CHILLER。
服务优势：
拥有一批专业技术人才，进口品牌射频电源资深工程技术支持，消化吸收国外先进技术基础上创新发展，
锻炼培养十几名经验丰富的维修工程师。拥有自主开发的专业配套射频电源测试平台，高压电源测试负载
，直流电源测试负载，专用测试仪器设备，以及丰富的图纸技术资料。
服务品牌：
AE（Advanced Energy）、ENI(MKS)、KYOSAN京三、SEREN、DAIHEN、COMDEL、VEECO射频电源，
HiTek Power，Glassman、Spellman高压电源，Lambda、delta、sorensen、PowerTEN直流电源。
ASTeX Microwave Power Supply、ASTeX SMART MATCH、FLASH LAMP、ESC HV PSU。
美国赛恩SEREV R2001射频电源二手销售 射频电源匹配

电源维修
专业维修半导体设备电源，主要有高压电源（High Power Supply）、框架式可控大功率直流电源（DC
Power Supply）、
射频电源(RF Generator)、微波发生器(Microwave Power Supply)及RF Match、Smart Match、RPSC等专
业设备维修。
Thermo Chiller维修
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温度控制泵浦，设备冷却系统，品牌有SMC，小松、大金、申和等
一、RF Generator射频电源维修和配套直流电源
1、AE（ADVANCED ENERGY）射频电源/直流电源
2、MKS ENI射频电源/直流电源
3、DAIHEN射频电源
4、KYOSAN射频电源/直流电源
5、COMDEL射频电源
6、ADTEC射频电源
7、SEREN射频电源
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二、RF MATCH(射频电源匹配网络)
1、AE （Advanced Energy） RF Match Network
2、LAM RF Match Network
3、AMAT RF Match Network
4、SEREN RF MATCH NETWORK
5、DAIHEN RF Match Network
6、SEREN RF Match Network
三、高压电源
1、HiTek Power supply高压电源
2、ADVANCE HIVOLT高压电源
3、Wallis Hivolt (Farnell Hivolt)高压电源
4、GLASSMAN高压电源
5、SPELLMAN高压电源
6、Varian高压电源
7、其他品牌
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四、直流电源
1、LAMDBA ESS/EMI直流电源
2、Delta ELEKTRONIKA直流电源
3、SORENSEN直流电源
4、AMETEK可编程电源
5、POWER TEN直流电源
6、灯丝电源、X射线电源
7、曝光灯电源USHIO（ Mercury lamp power supply）
五、微波电源发生器
1、ASTeX AGL系列微波电源Microwave Generator
2、MUEGGE Microwave Power Supply微波电源
3、ASTeX Smart Match
六、RPSC
MKS 2L
MKS 3L
MKS 6L
MKS 8L
MKS 15L
MKS 22L
七、CHILLER温度控制泵浦
SMC INR-341-16A
SMC INR-498-011
SMC INR-244-215
SMC-INR-244-117A

专业维修高压电源，RF射频电源、多路输出电源、升压器、电子负载、电子整流器、灯丝电源**灯电源、
X-RAY电源供应器、激光电源控制器，激光电源发生器。美国维易科(Veeco) RF射频电源维修，激光电源控制器维修，激光电源发生器修理

http://www.sz-fanuc.net

德国MUEGGE主要产品:磁控管MUEGGE微波电源,MUEGGE微波发生器,MUEGGE波导元件

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